MgF2 സബ്സ്ട്രേറ്റ്
വിവരണം
110nm മുതൽ 7.5μm വരെയുള്ള തരംഗദൈർഘ്യത്തിനായി MgF2 ലെൻസും പ്രിസവും ജാലകവും ആയി ഉപയോഗിക്കുന്നു.193nm-ൽ നല്ല പ്രക്ഷേപണം ഉള്ളതിനാൽ ArF Excimer ലേസറിന് വിൻഡോ എന്ന നിലയിൽ ഇത് ഏറ്റവും അനുയോജ്യമായ മെറ്റീരിയലാണ്.അൾട്രാവയലറ്റ് മേഖലയിൽ ഒപ്റ്റിക്കൽ ധ്രുവീകരണമായി ഇത് ഫലപ്രദമാണ്.
പ്രോപ്പർട്ടികൾ
സാന്ദ്രത (g/cm3) | 3.18 |
ദ്രവണാങ്കം(℃) | 1255 |
താപ ചാലകത | 300K-ൽ 0.3 Wm-1K-1 |
താപ വികാസം | 13.7 x 10-6 /℃ സമാന്തര സി-അക്ഷം 8.9 x 10-6 /℃ ലംബമായ സി-അക്ഷം |
Knoop കാഠിന്യം | 100 ഗ്രാം ഇൻഡെന്ററിനൊപ്പം 415 (കിലോ/മിമി2) |
പ്രത്യേക താപ ശേഷി | 1003 J/(kg.k) |
വൈദ്യുത സ്ഥിരത | 1MHz സമാന്തര സി-ആക്സിസിൽ 1.87 1MHz ലംബമായ സി-അക്ഷത്തിൽ 1.45 |
യംഗ്സ് മോഡുലസ് (ഇ) | 138.5 GPa |
ഷിയർ മോഡുലസ് (ജി) | 54.66 GPa |
ബൾക്ക് മോഡുലസ് (കെ) | 101.32 GPa |
ഇലാസ്റ്റിക് കോഫിഫിഷ്യന്റ് | C11=164;C12=53;C44=33.7 C13=63;C66=96 |
പ്രത്യക്ഷമായ ഇലാസ്റ്റിക് പരിധി | 49.6 MPa (7200 psi) |
വിഷം അനുപാതം | 0.276 |
MgF2 സബ്സ്ട്രേറ്റ് നിർവ്വചനം
MgF2 സബ്സ്ട്രേറ്റ് എന്നത് മഗ്നീഷ്യം ഫ്ലൂറൈഡ് (MgF2) ക്രിസ്റ്റൽ മെറ്റീരിയൽ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച ഒരു അടിവസ്ത്രത്തെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു.മഗ്നീഷ്യം (Mg), ഫ്ലൂറിൻ (F) മൂലകങ്ങൾ ചേർന്ന ഒരു അജൈവ സംയുക്തമാണ് MgF2.
MgF2 സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾക്ക് ശ്രദ്ധേയമായ നിരവധി ഗുണങ്ങളുണ്ട്, അത് അവയെ വിവിധ ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ജനപ്രിയമാക്കുന്നു, പ്രത്യേകിച്ച് ഒപ്റ്റിക്സ്, നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ എന്നീ മേഖലകളിൽ:
1. ഉയർന്ന സുതാര്യത: വൈദ്യുതകാന്തിക സ്പെക്ട്രത്തിന്റെ അൾട്രാവയലറ്റ് (UV), ദൃശ്യ, ഇൻഫ്രാറെഡ് (IR) മേഖലകളിൽ MgF2 ന് മികച്ച സുതാര്യതയുണ്ട്.ഏകദേശം 115 nm ൽ അൾട്രാവയലറ്റ് മുതൽ 7,500 nm വരെ ഇൻഫ്രാറെഡ് വരെ ഇതിന് വിശാലമായ പ്രക്ഷേപണ ശ്രേണിയുണ്ട്.
2. അപവർത്തനത്തിന്റെ കുറഞ്ഞ സൂചിക: MgF2 ന് താരതമ്യേന കുറഞ്ഞ അപവർത്തന സൂചികയുണ്ട്, ഇത് AR കോട്ടിംഗുകൾക്കും ഒപ്റ്റിക്സിനും അനുയോജ്യമായ മെറ്റീരിയലാക്കി മാറ്റുന്നു, കാരണം ഇത് അനാവശ്യ പ്രതിഫലനങ്ങൾ കുറയ്ക്കുകയും പ്രകാശ പ്രക്ഷേപണം മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.
3. കുറഞ്ഞ ആഗിരണം: അൾട്രാവയലറ്റ്, ദൃശ്യ സ്പെക്ട്രൽ മേഖലകളിൽ MgF2 കുറഞ്ഞ ആഗിരണം കാണിക്കുന്നു.ലെൻസുകൾ, പ്രിസങ്ങൾ, അൾട്രാവയലറ്റ് അല്ലെങ്കിൽ ദൃശ്യമായ ബീമുകൾക്കുള്ള വിൻഡോകൾ എന്നിവ പോലുള്ള ഉയർന്ന ഒപ്റ്റിക്കൽ ക്ലാരിറ്റി ആവശ്യമുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ഈ പ്രോപ്പർട്ടി ഇത് ഉപയോഗപ്രദമാക്കുന്നു.
4. കെമിക്കൽ സ്ഥിരത: MgF2 രാസപരമായി സ്ഥിരതയുള്ളതാണ്, വൈവിധ്യമാർന്ന രാസവസ്തുക്കളെ പ്രതിരോധിക്കും, കൂടാതെ വിശാലമായ പാരിസ്ഥിതിക സാഹചര്യങ്ങളിൽ അതിന്റെ ഒപ്റ്റിക്കൽ, ഫിസിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ നിലനിർത്തുന്നു.
5. താപ സ്ഥിരത: MgF2 ന് ഉയർന്ന ദ്രവണാങ്കം ഉണ്ട്, കൂടാതെ കാര്യമായ അപചയം കൂടാതെ ഉയർന്ന പ്രവർത്തന താപനിലയെ നേരിടാൻ കഴിയും.
ഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗുകൾ, നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ പ്രക്രിയകൾ, വിവിധ ഉപകരണങ്ങളിലും സിസ്റ്റങ്ങളിലും ഒപ്റ്റിക്കൽ വിൻഡോകൾ അല്ലെങ്കിൽ ലെൻസുകൾ എന്നിവയിൽ MgF2 സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.അർദ്ധചാലക സാമഗ്രികൾ അല്ലെങ്കിൽ മെറ്റാലിക് കോട്ടിംഗുകൾ പോലെയുള്ള മറ്റ് നേർത്ത ഫിലിമുകളുടെ വളർച്ചയ്ക്ക് ബഫർ ലെയറുകളോ ടെംപ്ലേറ്റുകളോ ആയി പ്രവർത്തിക്കാൻ അവയ്ക്ക് കഴിയും.
ഈ സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ സാധാരണയായി നീരാവി നിക്ഷേപം അല്ലെങ്കിൽ ഫിസിക്കൽ നീരാവി ഗതാഗത രീതികൾ പോലുള്ള സാങ്കേതിക വിദ്യകൾ ഉപയോഗിച്ചാണ് നിർമ്മിക്കുന്നത്, ഇവിടെ MgF2 മെറ്റീരിയൽ അനുയോജ്യമായ ഒരു സബ്സ്ട്രേറ്റ് മെറ്റീരിയലിൽ നിക്ഷേപിക്കുകയോ ഒരൊറ്റ ക്രിസ്റ്റലായി വളർത്തുകയോ ചെയ്യുന്നു.ആപ്ലിക്കേഷൻ ആവശ്യകതകളെ ആശ്രയിച്ച്, അടിവസ്ത്രങ്ങൾ വേഫറുകൾ, പ്ലേറ്റുകൾ അല്ലെങ്കിൽ ഇഷ്ടാനുസൃത രൂപങ്ങൾ എന്നിവയുടെ രൂപത്തിൽ ആകാം.